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高端裝備和材料從無(wú)到有,制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng),累計(jì)申請(qǐng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利2.3萬(wàn)余項(xiàng)、技術(shù)創(chuàng)新協(xié)同機(jī)制羽翼漸豐……5月23日,科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府組織召開(kāi)國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(集成電路裝備專項(xiàng))成果發(fā)布會(huì),會(huì)上宣布國(guó)家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。
芯片(集成電路)制造技術(shù)是當(dāng)今世界最高水平微細(xì)加工技術(shù)。長(zhǎng)期以來(lái),我國(guó)集成電路高端制造裝備、材料和工藝一直依賴引進(jìn),重大專項(xiàng)的實(shí)施讓我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)走上自主創(chuàng)新發(fā)展道路。
據(jù)悉,2008年國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施集成電路裝備專項(xiàng),共有200多家企事業(yè)單位和2萬(wàn)多名科研人員參與攻關(guān)。9年來(lái),先后有30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品研發(fā)成功并進(jìn)入海內(nèi)外市場(chǎng),從無(wú)到有填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白;制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng),面向全球開(kāi)展服務(wù)。(來(lái)源:新華社)
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